1661 m. ið Vilniaus pagaliau buvo iðvyti paskutiniai rusø caro Aleksejaus Michailovièiaus kareiviai. Ðeðerius metus buvo niokojama sostinë - kazokai piplëðë baþnyèias ir vienuolynus, buvo nuimti varpai, nudraskyti vario stogai, sudeginti pastatai. Kaip padëkà Dievui uþ kraðto iðvadavimà Vilniaus vyskupas Jurgis Bialozaras 1662 m. nutarë pastatyti Kryþiaus Kelio stotis. Vienuoliams domininkonams jis paskyrë 7 valakus (apie 140 ha) þemës ið savo Verkiø valdø. Miðku apaugusiame, staèiais ðlaitais ir giliomis raguvomis iðraiþytame Neries slënyje pradedama statyti pirmoji baþnyèia, vienuolynas ir Kryþiaus Kelio koplyèios. Statybos baigtos 1669 m., kai Vilniaus vyskupu jau buvo Aleksandras Sapiega.
XVIII a. viduryje Vieðpaties kanèiø kelias atnaujinamas, tikslinamas planas, mûrijamos naujos koplyèios. Pastatomos 35 stotys, ið jø 19 - mûriniø, taip pat 7 mediniai ir vieni mûriniai vartai, tiltas per Cedrono (Baltupio) upelá.
Prie koplyèiø atveþta paðventintos Jeruzalës þemës.
XIX a. ðis Kryþiaus kelias rûpestingai priþiûrimas. 1893 m. dailininkas Juozapas Balzukevièius nutapë naujus koplyèiø paveikslus. Vilniaus Verkiø Kalvarijos tapo visos Lietuvos, ypaè Vilniaus kraðto, maldininkø lankymosi vieta. Per Sekmines èia susirinkdavo keliolika tûkstanèiø þmoniø.
1941 m. bolðevikai uþdraudë lankyti Kryþiaus kelià. 1962 metais beveik visos koplyèios sunaikintos, iðliko tik keturios prie ðv. Kryþiaus Atradimo baþnyèios. Bet uþmirðtos jos niekada nebuvo. Kiekvienà pavasará kpolyèiø vietos buvo paþymimos ið gëliø, þalumynø, akmenëliø sudëtais kryþiais.
Ðiuo metu Kryþiaus Kelio stotys atstatomos pagal architektës Brigitos Radavièiûtës projektà. Ðv. Kryþiaus Atradimo baþnyèià ir koplyèias numatoma paskelbti respublikinës reikðmës architektûros paminklu, vietovë ájungta á Verkiø istorijos draustiná.